射频电源是可以产生固定频率的正弦波、具有一定频率的高频电源,主要由射频信号源、射频功率放大器及阻抗匹配器组成,是等离子体配套电源。射频功率放大器被认为是射频电源的核心,因此射频功率放大器是制约射频电源发展的关键因素，射频电源由20世纪80年代的电子管射频电源发展到现在的晶体管射频电源,经历了漫长的发展过程，功率由瓦、百瓦、千瓦、到兆瓦。

目前射频电源被广泛应用于半导体工艺设备、LED与太阳能光伏行业、科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域。目前我国先进的等离子体设备使用的射频电源,与国外同类电源相比还存在一定差距,要超赶上国际水平,还需要做很多工作：1)目前我国的射频电源采用大多是电子管或电子管、晶体管混合电路,体积较大,

射频电源就是用于射频电路或射频设备的电源，要求电源供电平稳，瞬间供电要求较高。什么是射频RadioFrequency，简称RF。射频就是射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。射频技术的分类：自动识别技术自动设备识别技术是目前国际上发展很快的一项新技术，英文名称为AutomaticEquipmentIdentification，简称AEI。

PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)是指等离子体增强化学的气相沉积法。这种方法有很多优点，比如成膜质量好等。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).实验机理：辉光放电等离子体中：电子密度高(109~1012/cm3)电子气温度比普通气体分子温度高出10100倍虽环境温度(100300℃)，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解，离解和离化，从而大大提高了参与反应物的活性。

我做射频电源的射频收发核心电路射频即RadioFrequency，通常缩写为RF。表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围从300KHz～30GHz之间。射频简称RF射频就是射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。

在电子学理论中，电流流过导体，导体周围会形成磁场；交变电流通过导体，导体周围会形成交变的电磁场，称为电磁波。在电磁波频率低于100khz时，电磁波会被地表吸收，不能形成有效的传输，但电磁波频率高于100khz时，电磁波可以在空气中传播，并经大气层外缘的电离层反射，形成远距离传输能力，我们把具有远距离传输能力的高频电磁波称为射频，射频技术在无线通信领域中被广泛使用。