通常，背散射电子成像的分辨率低于二次电子。然而，由特征X射线调制的显微图像的分辨率最低。其分辨率远低于二次电子图像的分辨率。因此，相应的对比度也较暗。背散射电子图像:当背散射电子用于形态分析时，由于背散射电子的出射深度与活动区的大小有关，活动区的大小远大于电子束光斑的大小，因此背散射电子信号的空间分辨率远低于se信号的空间分辨率。

分辨率从高到低一般如下:二次电子背散射电子俄歇电子X射线阴极荧光参考文献:http://coxem，signal二次电子背散射电子吸收电子特性X射线俄歇电子分辨率，提高了空间分辨率。与信号本身的能量和信号的采样区域不同，利用二次电子作为调制信号和背散射电子，后者的分辨率低于前者。反向散射电子的能量相对较大，

成像中使用的信号类型也主要与信号本身的能量和信号的采样面积有关。具有二次电子的调制信号与具有背散射电子的调制信号不同，后者的分辨率低于前者。二次电子成像的分辨率约等于束斑直径。二次电子和俄歇电子的分辨率最高，减少了背散射电子和X射线光子激发产生的二次电子。通常使用较低的入射能量，放大率取决于镜头，但更有用的参数是分辨率。

扫描电子显微镜（SEM）信号的出射深度，或从样品表面发射的信号面积，决定了扫描电子显微镜（SEM）检测样品信息的空间分辨率。入射电子束在样品中的膨胀效应。亮度很低。虽然在深槽底部可以产生更多的二次电子，博客。理想情况下，束斑直径主要取决于电子光学系统（电子枪等。）来自样本中的大面积。用于成像的信号类型。